复杂装备质量智能评估与控制团队

董正琼

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时间:2019-09-16 浏览:来源:仪器科学与质量工程系

职称:副教授

电话:

邮箱:dongzhq@hbut.edu.cn

学历:博士

/博士导师:硕士生导师

团队信息:精密光学检测仪器开发

研究方向:集成电路芯片缺陷及形貌检测

研究生情况:已指导17人,毕业生签约精测电子、广州电子五所等高科技企业

一、个人简历

研究方向包括集成电路芯片缺陷及形貌检测、装备智能运维与健康评估、可靠性工程等,主持并完成了国家级自然科学基金青年项目1项目、中国博士后科学基金项目1项、湖北省自然科学基金1项、湖北省教育厅重点项目1项,第一作者发表SCIEI期刊论文13篇、CSCD双核心论文10余篇,2020年获得湖北省科技进步二等奖;近5年,还主持了“白光干涉系统研发”“装备状态监测数据分析软件”、“基于仿真的装备测试性预计技术及应用研究”、“某型平台故障诊断维修原型系统开发”等多项军内科研外协项目。

二、教育背景

2010.9-2015.6:华中科技大学,机械电子工程,博士

2006.9-2010.6:华南理工大学,机械工程及其自动化,学士

三、工作经历

2015.7-今 湖北工业大学 测控技术与仪器系

四、研究课题及论文

(1) Moving sine average-based surface recovery method with enhanced noise resistancein white light interferometry, Optical Engineering, 2025, 64(2): 024104

(2) High-Precision Correction for Spatial Light Modulator Based on Quadriwave Lateral Shearing Interferometry, IEEE Photonics Technology Letters, 2024, 36(6): 421-424

(3) Effects of Measurement Configurations on the Sensitivity of Morpho Butterfly Scales Based Chemical Biosenso, Frontiers in Physics, 2022, 9: 806904-806904

(4) Nonuniform depolarization properties of typical nanostructures and potential applications, Optics Letters, 2020, 45(7): 1910-1913

(5) Influence of incident illumination on optical scattering measurement of typical photoresist nanostructure, Acta Physica Sinica, 2020, 69(3): 030601-030601

(6) Dependence Analysis Based Data-Refinement in Optical Scatterometry for Fast Nanostructure Reconstruction, Applied Sciences-Basel, 2019, 9(19): 1-12

(7) 基于马赫-曾德尔点衍射的双模式定量相位成像, 光学学报, 2025, 45(1): 107-114

(8) 基于梯度方差聚焦评价的三维显微测量方法, 激光与光电子学进展, 2024, 61(14): 124-130

(9) 基于四波横向剪切干涉的表面形貌测量方法, 激光技术, 2024, 48(06): 906-912

(10) 基于光学散射的T型相变存储器三维形貌参数测量研究, 激光与光电子学进展, 2022, 59(3): 29001

五、科研成果及专利

(1) 董正琼; 赵治俊; 王选择; 一种基于移动正弦拟合的快速解包络算法, 2018-5-11, 中国, 201610841327.0 (专利)

(2) 董正琼; 赵治俊; 王选择; 张雨; 周向东; 杨练根; 王恒辉; 一种改进的基于飞行时间检测的超声波测距方法, 2019-8-2, 中国, 201611155206.7 (专利)

(3) 董正琼; 王尚静; 甘英铭; 移动机器人电池管理系统, 2021SR1227789, 原始取得, 全部权利, 2021-4-22 (软件著作权)

、奖励荣誉

2020年获湖北省科技进步二等奖